光學元件微納缺陷檢測技術及應用

  報告人:趙建華 (超光滑表面無損檢測安徽省重點實驗室,合肥知常光電科技有限公司)

  時間: 2020年7月17日 周五上午 10:00-11:00

  地點:光機所南院7號樓 材料室2層西會議室

  趙建華簡介:

  碩士畢業于中國科學技術大學,現為中國材料與試驗團體標準委員會光電材料及產品領域委員會(CSTM/FC60)委員及光電檢測標準化技術委員會(CSTM/FC60/TC03)秘書長。

  報告內容簡介:

  隨著超精密加工技術、精密鍍膜技術的發展,光學元件性能指標不斷提升,達到了前所未有的水平。這類超精密光學元件的加工和使用都對缺陷檢測提出了更高的要求,傳統光學缺陷檢測方法因此而面臨嚴峻挑戰。

  在精密光學元件的工程化、產業化應用中,大家開始逐步關注批量化自動檢測。本報告在綜述各類超精密光學元件缺陷檢測技術基礎上,重點介紹基于激光散射技術、光熱吸收檢測技術在光學元件微納缺陷檢測中的應用。激光散射檢測技術檢測速度快,檢測靈敏度高(淺劃痕缺陷寬度檢測靈敏度達到50nm量級),是一種極為有效的適用于缺陷“快速發現”的檢測方法,特別是針對大口徑元件,具有較為顯著的優勢。對缺陷實現快速發現并精確定位后,一般需要對缺陷進行進一步精確分析和評估。本報告將舉例介紹在相關方面的進展,特別是對多模態缺陷檢測技術的研究進展。這些技術包括光熱顯微成像技術,共聚焦顯微成像技術,光學顯微成像技術等。

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